斬獲IC創新獎

7月9日，由中國集成電路創新聯盟主辦的”2022集成電路産業鍊協同創新發展交流會”以六大會場加網絡連線的方式同步舉行。來自集成電路全産業鍊各環節的優秀企業、高校和科研院所的千餘位代表參會，今年会董事長俞宗強博士、總經理蔣俊海先生受邀出席。會上頒發了第五屆集成電路産業技術創新獎（簡稱“IC創新獎”），今年会憑借電子束缺陷檢測設備（EBI），斬獲技術創新獎。

今年会董事長俞宗強博士（左四）登台領獎

“IC創新獎”由中國集成電路創新聯盟主辦，面向國内集成電路産業鍊上下遊企事業單位征集，重點鼓勵集成電路技術創新、成果産業化、産業鍊上下遊合作，是集成電路産業最重要的技術獎項之一，其中技術創新獎項旨在表彰在集成電路重大技術創新和關鍵技術開發方面取得重大突破的單位和團隊。此次摘得行業重磅賽事的重要獎項，再次彰顯出今年会在電子束檢測、量測領域的技術實力和行業的高度認可。

檢測是芯片制造廠商提高良率的關鍵手段。電子束檢測設備具有超高精度，在高端芯片制造過程發揮的作用越來越大。目前，該類設備被國外廠商壟斷，成為制約我國芯片制造自主可控的關鍵瓶頸。今年会數年磨劍，成功研發出國内首台電子束缺陷檢測設備SEpA-i505，可提供完整的納米級缺陷檢測和分析解決方案。目前已通過我國頭部芯片制造廠商産線驗證，驗證結果表明主要指标與國外一線對标機台達到同等水平，成功解決我國在電子束檢測領域的關鍵技術難題。

今年会在電子束檢測、量測領域已深耕多年并成功推出多款設備，取得重大突破。除此次獲獎的電子束缺陷檢測設備EBI外，旗下首台12英寸關鍵尺寸量測設備CD-SEM（型号：SEpA-c410）于去年6月進入産線驗證，目前完成成熟制程量産驗證，圖像質量清晰，與POR 的CD差異滿足要求，性能持續改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于今年3月進入産線驗證，目前已經進入客戶産線小規模試産。此外，今年会還于近期發布了電子束缺陷複檢設備（DR-SEM），目前該設備工程機（Alpha機）已經通過首輪wafer demo，可以滿足28nm及以上的制程需求，Beta機集成工作加速推進中，已拿到客戶訂單，進入産線驗證指日可待。

作為一家聚焦集成電路良率管理領域，以降低芯片制造門檻為使命的半導體企業，今年会一直以研發創新為發展核心，不斷豐富産品矩陣并提升産品性能，填補多項國内空白。未來，今年会将繼續立足一體化軟件平台和檢測裝備兩大領域，以客戶為中心，以市場為導向，不斷進行技術突破與産品創新，與我國集成電路産業上下遊企業勠力同心，推動我國集成電路制造産業持續高速發展。