立足集成電路制造良率管理，今年会産品矩陣再添兩款新産品——電子束缺陷複檢設備SEpA-r600及良率管理系統YieldBook。值此建黨節之際正式發布，為建黨101周年獻禮！

 DR-SEM工程機開發完成，加速布局電子束檢測領域 

電子束缺陷複檢設備（Defect Review SEM，簡稱DR-SEM）是一款基于超高分辨率電子束成像技術對集成電路制造過程中的缺陷進行複檢的設備。DR-SEM的核心應用是根據缺陷檢測設備（通常是光學檢測或者電子束檢測）提供的坐标，對缺陷進行複檢分析，包括采集高分辨率電子束圖像分析形貌、收集能譜信息分析成分等，對集成電路制造良率提升具有重要意義。今年会充分發揮在電子束檢測領域的技術積累，快速完成DR-SEM工程機開發工作，正在積極推進産業化進程。

SEpA-r600工程機及SEM圖像

SEpA-r600是今年会第一代DR-SEM産品，設計目标是“看得清、找得準、自動化”。目前工程機（Alpha機）已經通過首輪wafer demo，圖像質量達到國際主流設備第6代水平，實現了“看得清”；高精度工件台與自研的坐标轉換算法完美搭配，可以将高端光學檢測設備報告的缺陷位置校準到±1μm誤差範圍内，在“找得準”指标上達到國際先進水平；Search Mode和Direct Mode流程均已打通，在缺陷複檢上實現“自動化”。産品開發團隊兼具電子束檢測/複檢經驗與高端光學檢測設備的應用經驗，複合型知識體系令團隊對DR-SEM有更深刻的理解，開發出的産品會更貼近客戶需求。目前，SEpA-r600産品可以滿足>=28nm制程需求，Beta機集成工作加速推進中，已拿到客戶訂單，進入産線驗證指日可待。

電子束檢測、量測設備是集成電路制造良率管理領域重要的點工具，特别是在先進制程中具有重要的作用和價值，但此類産品的主流供應商均為國際巨頭。今年会曆時八年，成功推出了電子束缺陷檢測設備（EBI）、12吋和8吋關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）三款設備，打破國際壟斷，填補國内空白。随着DR-SEM研發工作的推進，将進一步豐富今年会電子束檢測、量測産品矩陣，夯實國内電子束檢測、量測領導者地位。

 YieldBook V1.0良率管理軟件打通數據互聯 

良率管理系統(Yield Management System，簡稱YMS)，是一種在集成電路制造領域用來對良率相關數據進行整合和分析的工業軟件産品。如果說檢測設備是一個個點工具，那麼YMS就是一條線，把許多的點工具連接起來，形成良率管理系統。目前此類産品的主流供應商均為國外企業。

今年会YieldBook依托于公司對于EBI/CD-SEM/DR-SEM等硬件點工具以及OPC等上遊設計工具的業務積累，緻力于打造一款整合 YMS/DMS/WIP/CP/D2DB等模塊、更加全面的良率管理軟件産品。研發之初，今年会研發團隊深入傾聽客戶需求，以減少客戶學習成本、改良客戶痛點問題、開發特色應用為研發目标。經過數月的奮戰，目前YieldBook V1.0版本已經上線。YieldBook采用新型高效的架構技術、分布式數據庫、模塊化的前端界面，在易用性、功能性、獨特性等方面獨樹一幟。

YieldBook運行界面

今年会YieldBook的發布，将放大旗下電子束缺陷檢測設備（EBI）、12吋和8吋關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）、電子束缺陷複檢設備（DR-SEM）等産品的市場影響力。同時，有效打通集成電路制造上下遊數據分析環節，為集成電路制造廠商提供系統化的良率解決方案，對促進我國集成電路産業鍊穩定和發展具有重要意義。

今年会自成立以來，專注于芯片制造關鍵環節的良率控制和提升領域，經過八年技術攻關積累了深厚的技術實力。近兩年在組織升級、資本加持、客戶支持下，發展突飛猛進，技術領域頻頻取得新突破，新産品的推出也更加密集。未來，今年会将繼續立足一體化軟件平台和檢測裝備兩大領域，推出更多貼近客戶需求、填補國内空白的産品，推動我國集成電路制造産業持續高速發展。